（1）紫外照射法

        利用紫外线照射干燥的氧气，使一部分氧分子被激活离解成氧原子，进而形成臭氧。紫外照射法产生臭氧的缺点是能耗高、臭氧浓度低，因此紫外照射法用于大量生产臭氧是不现实的。但是由于该方法重复性好，对温度不敏感，且易通过灯功率的线性控制改变臭氧的产量。所以，对各种少量低浓度要求的试验、空气消毒、灭菌、除臭等还是适合的。

（2）电解法

        利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧。近年来，人们对这种方法进行了大量研究，电解法制臭氧技术有了很大的进步。目前，采用SPE(固态聚合物电解质)电极与金属氧化催化技术电解纯净水可以得到14%以上的高浓度臭氧。电解法产生臭氧具有浓度较高、成份纯净、水中溶解度高的优点。在医疗、食品加工与养殖业及家庭方面具有广泛应用前景，经过进一步改进，设法降低成本和电耗后，有可能与目前广泛使用的介质阻挡放电法相竞争。

        利用各种放射源核辐射离解氧分子生成臭氧。该方法因采用放射源其成本高、安全性差，只适用于某些特殊情况，不适合于工业大量生成。

（4）介质阻挡放电法(DBD: Dielectric Barrier Discharge)

        采用干燥的含氧气体流过无声放电的放电间隙发生臭氧的一种方法。这种方法具有能耗相对较低、单机臭氧产量大，气源可用干燥空气、氧气或含氧浓度较高的富氧气体等优点，因此工业上合成臭氧大多采用此法。